Kapasitor vakum adalah kapasitor yang memanfaatkan ruang hampa sebagai media dielektriknya. Ini terdiri dari elektroda tembaga silinder konsentris yang disegel rapat dalam wadah vakum, dengan elektroda dibentuk melalui proses menggambar-cetakan menggunakan strip tembaga bebas-konduktivitas oksigen-tinggi. Berdasarkan bahan selubung insulasinya, kapasitor ini diklasifikasikan ke dalam dua kategori: jenis selubung-kaca (termasuk seri CKB dan CKBB) dan-jenis selubung keramik (termasuk seri CKT, CKTB, dan CKTBS). Mereka dicirikan oleh kemampuan menahan tegangan tinggi (mencapai ratusan ribu volt), ukuran kompak, kehilangan dielektrik rendah, arus pengenal tinggi (dengan arus RF mencapai kisaran kiloampere), dan rentang penyesuaian kapasitansi yang luas (hingga 150:1).
Struktur elektroda kapasitor ini didesain untuk mencegah busur api dan lucutan korona, sehingga cocok untuk pengoperasian di-lingkungan dataran tinggi. Aplikasi utamanya mencakup rangkaian penyetelan dan penggandengan pada peralatan penyiaran dan komunikasi, sistem manufaktur semikonduktor, peralatan pemanas industri berfrekuensi tinggi, analisis medis dan instrumen terapeutik, serta akselerator partikel berenergi tinggi. Mode kegagalan potensial termasuk kebocoran vakum, retakan pada isolator keramik, dan deformasi elektroda; Faktor penyebabnya biasanya melibatkan tekanan mekanis, pendinginan yang tidak memadai, kelembapan lingkungan, dan korosi yang disebabkan oleh gas berbahaya. Selama pengangkutan, tindakan-anti guncangan yang sesuai harus diterapkan; selama pemeliharaan, integritas segel selubung dan adanya korosi pada komponen logam harus diperiksa dengan cermat.