Dibandingkan dengan kapasitor yang menggunakan bahan dielektrik lainnya, kapasitor vakum dicirikan oleh kemampuan menahan tegangan tinggi, ukuran kompak, kerugian rendah, dan kinerja yang stabil dan andal. Keunggulan unik mereka dapat diringkas dalam aspek-aspek berikut:
Nilai Tegangan
Karena kekuatan dielektrik yang tinggi dari ruang hampa-dikombinasikan dengan ketahanan bawaan terhadap kontaminasi debu dan kelembapan-kapasitor vakum mencapai nilai tegangan pengenal yang jauh lebih tinggi untuk ukuran fisik dan kapasitansi tertentu dibandingkan jenis lainnya. Tegangan ini dapat mencapai tingkat beberapa ratus ribu volt.
Kerugian Rendah dan Arus Nilai Tinggi
Karena kapasitor ini menggunakan dielektrik vakum, selubung isolasi-kerugian rendah, dan struktur elektroda tembaga-bebas oksigen, kapasitor ini mampu menangani arus-frekuensi radio (RF) yang sangat tinggi-bahkan pada frekuensi yang sangat tinggi-di bawah kondisi pendinginan konvektif standar. Jika dilengkapi dengan sistem pendingin-air khusus, kapasitas arus RF dapat mencapai beberapa ribu ampere.
Efisiensi Ruang
Untuk nilai kapasitansi dan tegangan pengenal tertentu, kapasitor vakum menempati jumlah ruang fisik minimum absolut.
Rentang Penyetelan Lebar
Rasio kapasitansi maksimum dan minimum dapat mencapai 150:1, berkisar dari beberapa pikofarad hingga beberapa ribu pikofarad; ini menjadikannya komponen ideal untuk aplikasi yang memerlukan rentang penyetelan luas.
Kemampuan-Penyembuhan Diri Terhadap Tegangan Berlebih
Kapasitor vakum mampu menahan kondisi transien tegangan lebih sesaat-yang dapat menyebabkan kerusakan permanen pada jenis kapasitor lainnya.
Kemampuan Operasional-Ketinggian Tinggi
Konstruksi vakum-memungkinkan kapasitor vakum beroperasi secara efektif di lingkungan-ketinggian tinggi tanpa penurunan karakteristik kinerjanya.